產(chǎn)品介紹：

名    稱：不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE

型    號：HC150PE

應(yīng)    用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品概述：

不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE 可編程勻膠機(jī)，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔，4.3英寸觸摸屏，工業(yè)級直流電機(jī)及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì)，美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
　　該勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，美觀耐腐蝕，經(jīng)久耐用。

性能參數(shù)：

• 適用晶元尺寸范圍：? 5~150mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；

• 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋涂時(shí)間：3000s；

• 旋涂時(shí)間精度：0.1s；

• 內(nèi)腔直徑212mm，內(nèi)腔采用凹面防濺設(shè)計(jì)；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

• 電源輸入：AC200-230

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 設(shè)計(jì)緊湊，可輕松放置在手套箱內(nèi)使用；

• HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕；

• 采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動(dòng)；

• 4.3英寸彩色觸屏控制，易學(xué)易用；

• 精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示；

• 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；

•  采用高級PLC程序控制，可編程，實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

• 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計(jì)；

• 具有真空不足提示及保護(hù)功能，具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。

•  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

•  帶真空度安全互鎖檢測功能；

• 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口，可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；

                             HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔

              不同尺寸的載物盤

不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE產(chǎn)品外型尺寸：
　   310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)